半導體外延爐的隔熱材料主要有碳纖維保溫材料和石墨制品。
1.碳纖維隔熱材料
碳纖維保溫材料在半導體外延爐中主要用于隔熱，確保爐內溫度的穩定與均勻。該材料具有高純度和的隔熱效果，能承受高溫環境，并且避免外部雜質的引入，從而保障半導體材料的純凈性。
半導體級單晶硅爐：用于生長半導體級單晶硅，其需求量與硅片市場規模密切相關。
碳化硅單晶爐：專門用于碳化硅單晶的生長，其工作溫度可達到2100℃至2300℃，因此對保溫材料的耐高溫性能和純度要求極為嚴格。
石墨制品
石墨制品在半導體外延爐中具有重要作用，主要用于碳化硅單晶的生長及外延工藝。這些石墨制品的優勢在于其耐高溫能力強、熱傳導性能好以及化學穩定性高。
石墨坩堝：專門用于生長碳化硅單晶，具備穩定性、耐高溫特性，并與碳化硅材料具有良好的相容性。
外延石墨盤：專門用于碳化硅和硅的外延生長工藝，具有多種設計形式，包括桶型、煎餅型和單晶片石墨盤。
這些材料的選擇和應用保證了半導體外延爐的高效運作以及優質產品的生產。