2025-05-28半導(dǎo)體外延爐有機(jī)廢氣處理
半導(dǎo)體外延爐有機(jī)廢氣處理應(yīng)根據(jù)有機(jī)廢氣成份、濃度和特點(diǎn),選用分類(lèi)收集、組合工藝處理的方法,保證煙氣達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。以下是實(shí)際解決對(duì)策:1.有機(jī)廢氣成分與由來(lái)剖析半導(dǎo)體外延爐有機(jī)廢氣關(guān)鍵含硫化氫氣體(如HCl、HF、NOx)、工業(yè)廢氣(VOCs,如丙酮、甲苯)、特殊氣體(如氯硅烷SiH?)及粉塵顆粒物。
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